東莞瑞沃半導體設備有限公司
專業從事靜電吸附技術研發/生產/應用的創新技術企業
靜電吸附技術源自于一個世紀前兩位丹麥科學家 F. A. Johnsen 和 K. Rahbek對兩材料之間加載一定電壓之后產生吸附力的研究和相關發明。自此，靜電吸附技術被廣泛用于靜電吸盤和夾持器、蠕動和爬壁機器人、主動機器吸附以及觸覺技術領域。
1：靜電吸附夾持器，根據材料和結構可以分為硬、柔性、可拉伸三類。
2：靜電吸附在蠕動和爬壁機器人領域的應用，根據移動方式可以分為履帶式、一維腿式、二維腿式三類。
3：靜電吸附在主動機器吸附領域的應用，包括模塊化機器人、轉彎作業、變剛度智能材料、錨定作業、棲息作業、可穿戴設備、翻書作業、以及密封作業。
4. 靜電吸附在觸覺技術領域的應用。
一個經典靜電吸附系統一般由四部分組成：（1）靜電吸附復合材料和結構；（2）高壓源；（3）控制單元以及（4）被吸附材料。當給靜電吸附裝置的電極加載一定的電壓（一般在 1-6 千伏），吸附設備和被吸附材料之間會誘發靜電吸附力，從而實現主動吸附或者抓取。被吸附材料的主動釋放可以通過斷電來實現。
5. 經典靜電吸附系統。
相比其他吸附方式（比如磁吸附、負壓吸附、仿生吸附），靜電吸附的獨特優勢包括：（1）可適應各種不同材料和環境；（2）可帶來輕便簡單的機械和控制系統；（3）低能耗；（4）適合吸附易碎或者高價值材料。當然，靜電吸附技術也存在一些局限性，包括：（1）需要加載一定的高壓；（2）產生的吸附力相對較小且會隨著環境變化而變化。
本文是靜電吸附技術的第一篇綜述，詳細報道了靜電吸附的工作原理、建模、設計、制造、表征、及其在機器人領域應用，并且對該技術的建模、設計和制造、快速吸附和釋放、形狀自適應靜電吸附、以及智能靜電吸附進行了深入討論和展望。作者建議從材料、制造、應用物理等基礎學科層面了解該技術，以更好的控制、應用、以及商業化該技術。
總之，靜電吸附可以作為一個前沿、多學科交叉的研究方向。靜電吸附研究平臺可以用來激勵探索基于高壓的應用物理基礎問題、新靜電吸附軟智能材料和結構制造工藝、以及新感知和控制算法。
目前還可進一步探索的領域有：（1）靜電吸附力建模和表征；（2）提高靜電吸附系統的適應性、智能程度以及穩定性。將軟智能材料和結構與靜電吸附結合，不僅能使靜電吸附系統主動適應和抓取復雜曲面，而且還能提高靜電吸附系統的智能程度。兩個比較典型的例子包括：一種基于介電彈性體驅動器-軟靜電吸附的智能復合材料和一種基于液態金屬-硅膠管的智能復合材料